MotionView 顯微激光測振儀

MotionView 是一款結合激光測振傳感器和數字顯微鏡的一體化測量系統，可廣泛使用在微結構的振動特性測量，比如顯微材料測試、半導體領域測試和微機電測試領域。

產品優勢：

? 影像指示測量位置 ? 光學變焦、數字變焦，最大放大倍數450倍 ? 1310nm 測量光+ 655nm 紅光指示 ? 測量光斑大小 <100um ? X/Y/Z 三維調節能力 ? 振動檢測分辨率 ≤1nm ? DC~2.5MHz 測量范圍 ? 支持同步觸發測量 ? 最大振動量測量能力 20m/s

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產品詳情

MotionView 是一款結合激光測振傳感器和數字顯微鏡的一體化測量系統，內置數據處理單元和運算單元，沒有其他控制主機，通過以太網連接上位機。上位機軟件包含振動測試、分析功能和顯微鏡圖像顯示標定功能。MotionView 包含X/Y可調節載物臺和Z軸聚焦調節能力。MotionView 在測振方面具有優秀的噪聲性能，測量底噪小于5pm/√Hz，最大振動量可達20米/秒。MotionView 也具備同步接口，支持外接同步測量。MotionView 顯微激光測振儀可廣泛使用在微結構的振動特性測量，如顯微材料測試、半導體領域測試和微機電測試領域。

單位：mm

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